Mi az ULPA szűrő? Miben különbözik a HEPA-tól, és hová tartoznak

Az EN 1822 szerinti HEPA-szűrő általában H13-ra vagy H14-re vonatkozik. Az ULPA szűrő U15, U16 vagy U17 szűrőt jelent. A H14-ről az U15-re való ugrás papíron kicsinek tűnik, de a penetráció szempontjából jelentős lépés. A H14 0,005%-os maximális teljes penetrációt tesz lehetővé, míg az U15 ezt 0,0005%-ra csökkenti. Ez a megengedett penetráció 10-szeres csökkenése.

Ez az első dolog, amit a vásárlóknak emlékezniük kell:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•A teszt alapja az MPPS, nem csupán egy egyszerű 0,3 μm-es marketing nyilatkozat

A nagyobb hatékonyság általában szorosabb szennyeződés-ellenőrzést jelent, de nagyobb rendszerérzékenységet is jelent a légáramlás kialakítására és a nyomásesésre

EN 1822 hatékonysági osztályok

Az EN 1822 szerint az általánosan hivatkozott nagy{1}}hatékonysági osztályok a következők:

•H13: Nagyobb vagy egyenlő, mint 99,95%-os teljes hatékonyság

•H14: Nagyobb vagy egyenlő, mint 99,995%-os teljes hatékonyság

•U15: Nagyobb vagy egyenlő, mint 99,9995%-os teljes hatékonyság

•U16: nagyobb vagy egyenlő, mint 99,99995% teljes hatékonyság

•U17: Nagyobb vagy egyenlő, mint 99,999995% teljes hatékonyság

Ugyanez az osztálytáblázat tartalmazza a helyi hatékonysági/penetrációs határértékeket is, amelyek akkor számítanak, ha a szivárgásvizsgálat az elfogadási követelmény részét képezi.

Itt kezdődik a zűrzavar.

A piacon sok ULPA adatlap még mindig 99,9995%-os teljesítményt ír le 0,12 μm mellett. Az AAF termékirodalom ezt közvetlenül az ULPA modulok és dobozszűrők esetében teszi. Ez a megfogalmazás még mindig gyakori és sok mérnök számára ismerős. Az EN 1822 / ISO 29463 szabvány szerinti formális osztályozási logika azonban MPPS-tesztelésen alapul. Ez azt jelenti, hogy a termékek összehasonlításának legbiztonságosabb módja:

•Először ellenőrizze az osztályt: H14, U15, U16, U17

• Erősítse meg a vizsgálati szabványt: EN 1822 / ISO 29463

•Ezután nézze át, hogy a szállító hogyan tünteti fel a mért hatékonyságot az adatlapon

Mit jelent valójában az U15-ös ugrás

Mérnökeink gyakran látják, hogy vevők bánnak veleU15mint "csak egy kicsit jobb, mint a H14". Ez jobb annál. A megengedett teljes penetráció egy tizedesjegygel csökken. Tisztatérben ez akkor számít, ha a folyamat már a hiba szintjén folyik, nem csak a szoba kényelmének szintjén.

Egészségügyi és műtők: a fertőzések elleni védekezés a cél, nem az ostyatermés

Az egészségügyi tervezésben a fő szempont a levegőben terjedő fertőzési kockázat, a sebészeti{0}}szennyeződés, a nyomásviszonyok és a kritikus zóna feletti tiszta légáramlás szabályozása. Az ASHRAE egészségügyi útmutatója kimondja, hogyA 170-es szabvány csak a védő{1}}környezetű helyiségekben írja elő a HEPA-szűrőket, nem minden egészségügyi területen. Műtőknél a hangsúly az ellátó diffúzor tömbön, a légáramlási mintán és a helyiség nyomásán van. Ezért az egészségügyi megbeszélések általában a középpontban állnakHEPA, nem ULPA.

Vannak olyan egészségügyi termékek, amelyek opcionális ULPA teljesítményt kínálnak. A Camfil műtőházi szellőztetési szakirodalma megemlíti az opcionális ULPA szűrőket egyes rendszerekhez. De ez nem változtat a tágabb szabályon:az általános egészségügyi referenciaérték a HEPA{0}}minőségű szűrés, míg az ULPA egy speciális eset, nem az alapértelmezett válasz.

A félvezető tisztaterek különbözőek. A Camfil félvezetőkre vonatkozó útmutatása az ISO Class 1 részecskeszintet célzó fab-eket, valamint a levegőben terjedő molekuláris szennyeződés (AMC) szigorú ellenőrzését írja le. Kiemeli továbbá a HEPA és ULPA szűrők használatát olyan alkalmazásokban, mint a litográfia, marattatás, diffúzió, fémezés, ionimplantáció, ellenőrző eszközök és irányzék- vagy ostyatárolás. A MANN+HUMMEL a tisztaterek számára H14-től U17-ig terjedő elemeket használó FFU-rendszereket is ismertet.

Ezért a félvezető vásárlók gyakran áttérnek a HEPA-ról az ULPA-ra:

•a kritikus részecskeméretek kisebbek

•a hozamveszteség közvetlenül a nanoméretű szennyeződéshez kötődik

•a szerszámok és a mini{0}}környezetek gyakran szigorúbb ellenőrzést igényelnek, mint a környező műhelyek

•a levegőben terjedő molekuláris szennyeződés a részecskék mellett számít

Egyszerű szabály:
•Ha a helyiség a páciens és a személyzet munkafolyamatát védi, általában a HEPA a referenciapont.
• Ha a helyiség ostyát, maszkot, irányzékot vagy fejlett technológiai eszközt véd, az ULPA sokkal gyakoribbá válik

Nem. Nem automatikusan.

Egy jobb papírszűrő nem mindig a jobb mérnöki választás a területen.

A vásárlóknak össze kell hasonlítaniuk:

• Kezdeti ellenállás

•megengedhető végső nyomásesés

•ventilátor kapacitása és energiaköltsége

•a légáramlás egyenletessége

•zárási és szkennelési-tesztkövetelmények

•kigázosító viselkedés

•alkalmazási kockázat, ha a szűrő gyorsabban eltömődik, vagy a levegőrendszer újratervezését kényszeríti ki

Mérnökeink gyakran látják, hogy az ULPA-t ott határozták meg, ahol a H14 alacsonyabb rendszerellenállással és alacsonyabb működési költséggel teljesítette volna a valós folyamatkövetelményeket. Az ellenkező hiba is előfordul: a HEPA-t félvezető- vagy mikroelektronikai RFQ-ba másolják, egyszerűen azért, mert ez az ismerősebb kifejezés. Egyik parancsikon sem jó beszerzési gyakorlat.

Ezt a pontot mindig figyelmen kívül hagyják.

Félvezető és mikroelektronikai környezetben a probléma nem csak a részecskék. Ez is molekuláris felszabadulás magából a szűrőből. A Camfil azt állítja, hogy félvezető előszűrő termékcsaládját úgy tervezték, hogy megvédje a HEPA szűrőket anélkül, hogy bór szabadulna fel, a félvezető felhasználásra szánt HEPA/ULPA termékeit pedig nagyon alacsony gázkibocsátásra tervezték. Az AAF a mikroelektronikai oldalról ugyanezt állítja, és kijelenti, hogy a bór-mentes és kémiailag semleges szűrőanyag korlátozza a mikroelektronikát károsító-gázosodást. A Hollingsworth & Vose azt is leírja, hogy az alacsony-bórtartalmú mikroüveg médiát félvezető szerkezetű tisztaterekhez tervezték.

A félvezetőgyártásban a nyomszennyeződés nem elméleti. A levegőben lévő molekuláris szennyeződések és vegyszermaradványok hatással lehetnek az ostyafelületekre, az optikára és a technológiai eszközökre. A Camfil kifejezetten megjegyzi, hogy a nem kívánt reakciók savakkal, bázisokkal, szerves anyagokkal, tűzálló anyagokkal ésadalékanyagokhibákat okozhat és csökkentheti a berendezés hatékonyságát. A bór a félvezető feldolgozás dópoló eleme, így a levegőben lévő anyagokból a szabályozatlan bórfelszabadulás pontosan az a fajta dolog, amit a gyártók igyekeznek elkerülni.

Ezért az elektronikai vásárlók gyakran kérik:

•alacsony -bórtartalommédia

•alacsony{0}}gázkibocsátásragasztók és alkatrészek

• ULPA vagy csúcsminőségű{0}}HEPA/ULPA modulok kifejezetten a mikroelektronikához

• tisztatéri szűrők litográfiához, maratáshoz, vékonyréteghez vagy ellenőrző eszköz környezetéhez

Ez fontos. Alacsony-bórtartalmú szűrőanyag nem szükséges minden tisztatérben.

Akkor válik fontossá, ha:

az eljárás félvezető vagy mikroelektronika

a vevő kezeli az AMC-t és az anyagkibocsátást

a fab vagy a szerszámgyártó szigorú előírásokkal rendelkezik a vegyi tisztaság tekintetében

a nyomszennyeződés költsége rendkívül magas

Sok gyógyszerészeti, kórházi vagy szabványos ipari tisztatér esetében előfordulhat, hogy ez a követelmény soha nem jelenik meg az ajánlatkérésben.

1. A 0,3 μm-es HEPA és a 0,12 μm-es ULPA összehasonlítása a szabvány ellenőrzése nélkül

Ez egy alma{0}}a-narancs összehasonlítása, hacsak nem erősíti meg a megadott tesztalapot és osztályt. Az EN 1822 / ISO 29463 besorolás az MPPS köré épül.

2. ULPA megadása, mert "biztonságosabbnak hangzik"

A nagyobb hatékonyság nem ingyenes frissítés, ha a rendszer nem tudja elnyelni a nyomásesést, vagy ha a folyamatnak nincs rá szüksége.

3. A gázkibocsátás és a vegyi tisztaság figyelmen kívül hagyása az elektronikában

A félvezető alkalmazásoknál a szűrő saját anyagai számítanak. Az alacsony-bórtartalmú és alacsony-gázkibocsátású konstrukció ugyanolyan fontos lehet, mint a hatékonysági osztály.

4. "ULPA szűrő" beírása az RFQ-ba osztály nélkül

Egy komoly RFQ-nak azt kell mondaniaU15, U16 vagy U17, valamint a tesztszabvány és a méret.